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技術(shù)文章
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    半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀
    型 號(hào):XD-303PH
    品 牌:日本新宇宙
    技術(shù)指標(biāo):檢測對(duì)象氣體:膦 
    白銀半導(dǎo)體工廠氣體檢測儀-XD-303PH-日本新宇宙
    功能描述
    檢測對(duì)象氣體:
    檢測范圍: 0-1ppm;0-0.3ppm
    最小刻度: 0.1ppm;0.01ppm
    采樣方式: 自動(dòng)吸引式
    應(yīng)答速度: 60%應(yīng)答40秒
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