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技術文章
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    半導體工廠氣體檢測儀
    型　號：XD-303PH
    品　牌：日本新宇宙
    技術指標：檢測對象氣體：膦 
    文山半導體工廠氣體檢測儀-XD-303PH-日本新宇宙
    功能描述
    檢測對象氣體： 膦
    檢測范圍： 0-1ppm；0-0.3ppm
    最小刻度： 0.1ppm；0.01ppm
    采樣方式： 自動吸引式
    應答速度： 60%應答40秒
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